Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒 和面板设计,能够满足如今 300 mm 工具的要求。该型号占 用空间仅 11/8′′,能节省宝贵的空间 ;结构坚固,是要求长期 稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同,Setra 227 型压力变 送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均 采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛光至 5 Ra(最 大 7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。
227 型压力变送器可选 5 VDC、10 VDC 或 4-20mA 三种输出 类型,精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符合工 业标准的 11/8′′带 C 型密封的朝下安装的压力接口,另外还可 使用多芯电缆、4 针卡口接头和 9 针或 15 针 D-sub 接头进行 电气连接。与 328 型 11/8′′旋转显示屏配合使用时,227 型可 实现理想的压力测量和显示。
零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还可选 择绝压、表压或复合压测量范围。
特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·抗电磁干扰/ 射频干扰,可防止误停机
·4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合CE 标准要求
·符合RoHS 标准要求
应用
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具