前一篇刘教授为我们介绍了直压法泄漏测量以及它的优缺点，由于有些被测部件（UUT）不能承受过高的压力，还有一些部件对泄漏量要求更加严格，直压法已经不能满足工艺要求，于是差压法泄漏测量应运而生。

差压法泄漏测量需要增压一个参考腔(Ref)，参考腔的结构应该尽可能与被测部件(UUT)保持一致，外部设备为测量制造一个满足测量条件的正压或负压，当达到工艺设定的压力时断开压力源，待内部压力稳定后将Ref和UUT断开，一个高精度的差压传感器用来比较Ref和UUT内部的压力的跌落/上升随时间的变化ΔP/Δt，由于Ref预先已经过验证，可以认为系统压力的跌落/上升来自UUT。

系统可用氮气或通过油水分离器净化的空气作为气压源，通过可调节阀门向系统充气，也可以通过真空发生器为系统制造一个负压环境。测量环境压力可采用精度略低的表压传感器或真空传感器监视，例如Setra Model 209/206（如下图所示）。

Model 209

Model 206

差压法泄漏测量通常是针对非常小的泄漏量设计的，因此对差压测量泄漏使用的传感器要求精度高、量程小但静压能力高，稳定性和重复性好。Setra干式电容技术制造的高精度压力传感器ASL（如下图所示）是这个应用的优选。

ASL高精度压力传感器

差压法泄漏测量系统增加了与被测部件等同的被测腔体，使得两侧的温度影响得到抵消，整个测量过程温度影响大大减小。同时因为测量是两个腔体压力的比较，在使用高精度差压传感器的情况下测量精度非常高，可以在比被测部件承压略高的条件下得到高精度的测量结果，大大扩展了应用范围，逐渐被越来越多的现场测量工艺采用。

差压法测量的另一个优势是负压腔泄漏的测量。当被测部件（UUT）工作时处于负压状态，要对它进行负压状态下的泄漏测量，这时其它测量方法是无法完成的，差压法泄漏测量变的不可替代。

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