产品概要

Setra 的730 型是一款高精度的电容式压力计(亦称电容式膜片真空计 (CDG)),适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达±0.5%,分辨率高,优于同类产品。730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计,它能精确测量介质,不受应用中气体混合物成分的影响。

适合苛刻应用的高性能产品
采用单膜片可变电容感应元件,适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点,使之成为关键制造过程中的理想选择。

Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料, 因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。
Inconel®材料结合全焊接结构, 确保730型在这类应用中的长使用寿命。

直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同,730型测量直接压力, 不受被测混合气的影响,这使其精度优于间接测量型压力计。

应用
·半导体处理室
·石化
·等离子体灭菌器
·真空包装

产品规格

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