227

超高纯压力变送器

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产品概要

Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒和面板设计,能够满足如今300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅11/8″,能节省宝贵的空间;结构坚固,是要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。与其他采用大体积封头腔室的产品不同,Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛光至5 Ra(最大7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。

■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI

特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·抗电磁干扰/ 射频干扰,可防止误停机
·4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合CE 标准要求
·符合RoHS 标准要求

应用
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具

产品规格

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